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Multi-scale Modeling for MEMS: from physical principles to engineering applications
Fabrizio Cleri, Fabio Manca  1, @  , Pier Luca Palla  1, @  , Stefano Giordano  1, @  
1 : Institut d'électronique, de microélectronique et de nanotechnologie  (IEMN)  -  Website
CNRS : UMR8520
avenue Poincaré, Cité scientifique, BP 69, 59652 Villeneuve d'Ascq cedex -  France
Subject : : Abstract Oral (Invited only)
Topics : Session 6
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